半導体薬液洗浄装置のインライン用
ECN型薬液加熱ヒーター
高純度製
● 接液部にはすべてPFAを使用
● 不純物の溶出がありません
● 低温ヒーター使用で薬液を劣化させない
● アルカリ性薬液に対しても劣化しない
信頼性
● 最高使用圧力:0.4MPa
● 最高使用温度:標準品は80℃、特殊仕様で120℃まで製作可能
● 過熱アラーム用センサー内臓
● 停電等の急なシャットダウン時の温度上昇は
10℃程度。高温時の使用にも安心
● 漏水センサー内臓
● 流動変動や衝撃に強い
メンテナンス性
● 低温ヒーターを使用しているので寿命は半永久的ヒーター交換不要
● 非常にコンパクトなので、設置が容易
● 電気制御は、既設を有効利用可能